Installation de vide

Grâce aux diverses installations d’alimentation en gaz, la plupart des lignes de fours tubulaires peuvent être préparés pour le fonctionnement aux gaz non combustibles ou combustibles ou pour l’utilisation sous vide.

Fonction et équipement

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L’installation de vide permet d’évacuer le tube de travail pour le fonctionnement sous vide des fours tubulaires. Elle se compose d'une pièce intermédiaire pour la sortie du gaz, d'un robinet à boisseau sphérique, d'un manomètre et d'une pompe à vide à commande manuelle qui est reliée à la sortie du gaz au moyen d'un tuyau ondulé en acier inoxydable. Pour utiliser une installation de vide, il faut un système de four étanche au gaz, par exemple avec l’installation de mise sous gaz 15, 2, 25 ou 26. Pour protéger la pompe à vide, l'évacuation du tube à vide doit être effectuée à froid. Ensuite, la pompe peut rester en marche au cours du programme de chauffage. La pression finale maximale réalisable dans le tube de travail dépend du type de pompe.

  • Pompe à palettes à un étage pour une pression finale réalisable d'environ 20 mbar
  • Pompe à palettes à deux étages pour une pression finale réalisable d'environ 5 x 10−2 mbar
  • Station de pompage turbomoléculaire composée d'une pompe à membrane avec pompe turbomoléculaire en aval pour une pression finale réalisable jusqu'à environ 5 x 10−5 mbar (ne convient pas aux modèles RSRB et RSRC et avec l'installation de mise sous gaz 15)

Spécifications techniques

Série de modèles Installation d'alimentation en gaz
  1 15 2 25 26 3 4
RD            
R    
RT            
RHTC      
RHTH        
RHTV        
RSH    
RSV    
RSRB        
RSRC        

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