真空パッケージ

真空パッケージ

真空パッケージを使用すれば、管状炉内での真空運転用作業管を排気できます。真空パッケージは、ガス排出口用のスペーサー 1 個、ボールコック 1 個、マノメーター 1 個、ステンレス鋼製ホースによりガス排出口に接続されている手動式真空ポンプ 1 個から構成されます。 真空パッケージを使用するための前提条件は気密型炉システムです（ガスパージパッケージ 15、2、25、または、26 による気密型炉システムなど）。 真空ポンプを保護するため、真空管は冷却状態で排気しなければなりません。また、ポンプを加熱プログラムのまま維持することができます。作業管内の最大最終到達圧力はポンプタイプによって異なります。

• 約 20 mbar の最終到達圧力用の 1 段式ロータリーベーンポンプ
• 約 5 x 10^-2 mbar の最終到達圧力用の 2 段式ロータリーベーンポンプ
• ターボ分子ポンプステーションは、最大 5 x 10^-5 mbar の最大最終到達圧力用の後続ターボ分子ポンプのあるメンブレンポンプで構成されます（RSRB モデルと RSRC モデルには適しません。また、ガスパージパッケージ 15 と組み合わせることはできません）