クリーンルームソルーション

クリーンルームの設置仕様によって、選択する炉の仕様に様々な条件が要求されます。炉全体がクリーンルームに設置される場合は、クリーンルーム環境の汚染防止が重要です。特に粒子による汚染を最小限に削減してください。

典型的な適用の特性が必要な炉の技術選択に決定的となります。多くの場合、低温でも熱が均一に分布するために熱風循環炉が必要になります。またナーバサームは高温向けに放射加熱炉を各種取り揃えています。

クリーンルーム内の炉設置

炉全体をクリーンルーム内に設置する場合、炉室、炉ハウジングおよび制御部が汚染から守られていることが重要です。またその外部表面は容易に洗浄できることが重要です。炉室は内部が断熱層になっています。必要な場合は、空気循環フィルターや炉内の空気循環などの追加装備も可能です。スイッチや炉制御装置をクリーンルームの外に設置することを奨励します。

グレイルーム内の炉設置、クリーンルームからの炉への装入

最適なクリーンルームのグレード（一級品）はグレールームでの炉の設置によってロットと一緒にクリーンルームに装入することで達成出来るのです。またクリーンルーム内のフロントおよび炉室の洗浄が容易です。この仕様によって最高のクリーンルーム等級が達成できます。

グレイルームとクリーンルームの間のシャッター炉

グレイルームとクリーンルーム間の輸送は通常、容易な仕様に最適化されています。グレイルームとクリーンルームにそれぞれ扉が装備され、クリーンルームの炉側面は粒子堆積の大部分を削減できる構造です。