Reinraumanwendungen stellen erhöhte Anforderungen an die Ausführung des ausgewählten Ofens. Wird der komplette Ofen im Reinraum aufgestellt, darf es zu keiner wesentlichen Verunreinigung der Reinraumatmosphäre kommen. Insbesondere muss aber sichergestellt werden, dass die Partikelemissionen auf ein Minimum reduziert werden.
Die jeweils spezifische Anwendung bestimmt die Auswahl der erforderlichen Ofentechnik. In vielen Fällen werden Umluftöfen benötigt, um die erforderliche Temperaturverteilung bei niedrigen Temperaturen sicher zu stellen. Für höhere Temperaturen hat Nabertherm aber auch bereits viele strahlungsbeheizte Öfen im Einsatz.
Installation des Ofens im Reinraum
Wenn der komplette Ofen im Reinraum positioniert werden soll ist es wichtig, dass sowohl der Ofenraum als auch das Ofengehäuse und die Regelung möglichst emissionsfrei sind. Oberflächen müssen leicht zu reinigen sein. Der Ofenraum ist zur dahinter liegenden Isolierung abgedichtet. Sofern notwendig, kann durch Zusatzausstattung, wie z. B. Filter für die Frischluft oder die Luftumwälzung im Ofen, die Reinheitsklasse noch verbessert werden. Empfehlenswert ist es, die Schaltanlage und die Ofensteuerung außerhalb des Reinraums zu installieren.
Installation des Ofens im Grauraum, Chargierung des Ofens aus dem Reinraum
Eine optimale Reinraumgüte wird erreicht, wenn die Installation des Ofens im Grauraum mit Chargierung aus dem Reinraum erfolgt. Teurer Stellplatz im Reinraum wird somit auf ein Minimum reduziert. Die Front und der Ofeninnenraum im Reinraum werden dabei so ausgeführt, dass sie leicht zu reinigen sind. Mit dieser Konfiguration werden höchste Reinraumklassen erreicht.
Schleusenofen zwischen Grauraum und Reinraum
Die Logistik zwischen Grau- und Reinraum kann in vielen Fällen auf eine einfache Art optimiert werden. Hier kommen Schleusenöfen zum Einsatz, die eine Tür im Grauraum und die andere Tür im Reinraum haben. Der Ofenraum und die in den Reinraum zeigende Seite des Ofens werden so ausgeführt, dass eine Partikelverunreinigung weitestgehend reduziert wird.