功能与设备
VHT 系列的紧凑型气密罐式炉为电控加热箱式炉,配有石墨、钼、钨或 MoSi2加热装置。无论是通过其可变的加热方案还是其各种附件,这些气密罐式炉均可以实现技术要求很高的客户工艺流程。
真空气密罐既可以在保护和反应气体环境下也可以根据窑炉的规格在10-5 mbar的真空环境下进行热处理。基本型窑炉适用于在不可燃的保护或反应气体或真空条件下的运行。H2系统允许在氢气或其它可燃气体环境下操作。该系统的关键在于经过认证的安全工序包,它可以随时确保安全运行并在发生故障时调用导入相关的紧急程序。
不同的加热规格
通常情况下以下的可变类型可以满足工艺要求:
VHT ../..-GR型带有石墨隔热材料和加热装置
- 可用于保护和反应气体或真空条件下的工艺
- 最高温度 1800 ℃ , 2200 ℃ 或 2400 ℃(VHT 40/.. - VHT 100/..)
- 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-4 mbar
- 石墨隔热材料
VHT ../..-MO 或 VHT ../..-W型带钼或钨加热装置
- 可用于保护和反应气体或高真空条件下的工艺
- 最高温度 1200 ℃ , 1600 ℃ 或 1800 ℃ (见表)
- 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-5 mbar
- 由钼和钨辐射片各自制成的隔热材料
VHT ../..-KE型带有纤维隔热材料和加热装置,通过二硅化钼制成的加热元件加热
- 可用于保护和反应气体或空气或真空条件下的工艺
- 最高温度 1800 ℃
- 根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-2 mbar(可达 1300 )
- 高纯氧化铝纤维制成的隔热材料
- 独家使用未分类的隔热材料,依据EC法规No 1272/2008 (CLP)
基本型
- 标准大小为 8 - 500 升炉腔
- 水冷式不锈钢制气密炉罐
- 框架结构由牢固的不锈钢型材制成,保养方便,可轻易拆卸的不锈钢面板
- VHT 8 炉型的炉膛,配有滚轮,炉子可便捷地移动
- 带有手动截止阀的冷却水分配器,自动流量监视仪,开放式冷却水系统
- 可调节的冷却水回路,带有流量和温度显示屏以及过温保护装置
- 开关设备和控制器安装在炉膛内
- 带有P570型控制器的工艺控制器
- 带有可调节切断温度的超温限制器,作为温度限制器以保护烘箱和装料
- 工艺气体和真空功能的手动操作
- 用于一种工艺气体(N2、Ar 或不易燃的混合气体)的手动供气系统,流量可调
- 带有手动阀的旁通系统,用于炉腔快速填充或冲洗
- 带有溢过流阀门的手动气体排出口(相对压力为 20 mbar)用于过压操作
- 带有球阀的一级转阀泵,用于预抽真空并且用于在 5 mbar的粗真空下进行热处理
- 用于可视化压力监控的压力计
- 明确的应用请遵守操作手册
附加设备
附加装备:气体管理系统
- 用于第二种工艺气体(N2、Ar 或不易燃的混合气体)的手动供气系统,带旁路,流量可调
- 质量流量调节器,用于变换的流量并与第二种工艺气体生成混合气体(仅适于自动工序包)
- 钼制、钨制、石墨或 CFC 制内部工艺盒,对于排胶工艺尤其值得推荐。带有直接的进气口和出气口的工艺盒被安装在炉膛内,用于改善温度的均匀性。 排胶过程产生的废气将会直接从内部工艺盒中排出。排胶后供气路径的改变导致在烧结过程中得以获得清洁的工艺气体气氛。
附加装备:真空泵
- 带有球阀的二级转阀泵,用于预抽真空并且用于在良好的真空下进行热处理(可以达到10-2 mbar),包含电子式压力传感器
- 带有截止滑阀的涡轮分子泵用于 预抽真空和高真空下的热处理(达到10-5 mbar),包括电子式压力传感器和增压泵
- 其他要求的泵
- 分压力运行:在控制负压时导入保护气体(仅适于自动工序包)
附加装备:冷却装置
- 带有密闭冷却水回路的热交换器
- 直接冷却参
附加装备:控制器和记录仪
- 带有显示屏的装载热电偶
- 对于2200 ℃ 的炉型而言,通过高温计在高温范围内测量温度,且C型热电偶带有自动取出装置,确保了在较低温度范围内很好的控温效果(从VHT 40/..-GR型起)
- 带有 H3700 型工艺控制装置的自动工序包
- 12“ 图像触摸面板
- 通过触摸面板输入温度、加热率、供气、真空等所有工艺数据
- 将所有工艺相关的数据显示在工艺流程图上
- 用于一种工艺气体(N2、Ar 或不易燃的混合气体)的自动供气系统,流量可调
- 通过程序采用工艺气体对炉腔冲洗和填充的旁通阀
- 自动预设和后置程序,包括用于安全运行的泄漏测试
- 带有折叠阀和溢过流阀的自动气体出口(相对压力为 20 mbar)用于过压操作
- 绝对和相对压力的压力传感器
- 通过 VCD 软件包对工艺进行控制和记录,或利用纳博热控制中心 NCC 进行监控、记录和控制
技术指标
VHT ../..-GR | VHT ../..-MO | VHT ../18-W | VHT ../18-KE | |
---|---|---|---|---|
最高温度 | 1800℃, 2200℃ 或2400℃ | 1200℃或1600℃ | 1800℃ | 1800℃ |
惰性气体 | √ | √ | √ | √ |
空气/氧气 | - | - | - | √ |
氢气 | √3,4 | √3 | √3 | √1,3 |
粗、细真空(>10-3 mbar) | √ | √ | √ | √2 |
高真空(<10-3 mbar) | √4 | √ | √ | √2 |
材料加热装置 | 石墨 | 钼 | 钨 | MoSi2 |
绝缘材料 | 石墨毡垫 | 钼 | 钨/钼 | 陶瓷纤维 |
1最高温度降至1400 ℃ 2取决于温度 |
型号 | 有效空间尺寸mm | 容积 | 最大装载g | 外尺寸6 mm | 加热功率千瓦4 | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
宽 | 深 | 高 | 升 | 重量/k | 宽 | 深 | 高 | 石墨 | 钼 | 钨 | 陶瓷纤维 | |
VHT 8/.. | 170 | 240 | 200 | 8 | 5 | 1250(800)1 | 1100 | 27005 | 27/27/-2 | 19/343 | 50 | 12 |
VHT 25/.. | 250 | 400 | 250 | 25 | 20 | 1500 | 2500 | 2200 | 70/90/-2 | 45/653 | 85 | 25 |
VHT 40/.. | 300 | 450 | 300 | 40 | 30 | 1600 | 26005 | 2300 | 83/103/1252 | 54/903 | 110 | 30 |
VHT 70/.. | 375 | 500 | 375 | 70 | 50 | 18005 | 33005 | 2400 | 105/125/1502 | 70/1103 | 130 | 55 |
VHT 100/.. | 450 | 550 | 450 | 100 | 75 | 1900 | 35005 | 2500 | 131/155/1752 | 90/1403 | 承索 | 85 |
VHT 250/.. | 600 | 750 | 600 | 250 | 175 | 30001 | 4300 | 3100 | 180/210/-2 | 承索 | 承索 | 承索 |
VHT 500/.. | 750 | 900 | 750 | 500 | 350 | 32001 | 4500 | 3300 | 220/260/-2 | 承索 | 承索 | 承索 |
1带独立的开关系统单元 21800 ℃/2200 ℃ |