Fours pour l'industrie microélectronique
La fabrication de composants microélectroniques en céramique multicouche (par ex. LTCC) pose des exigences particulières au processus de traitement thermique en termes de durée, de régulation et d’homogénéité de la température. Nabertherm propose dans ce cas des solutions pour les processus discontinus et continus, spécialement adaptées aux exigences de l'industrie microélectronique.
