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制造多层陶瓷(例如LTCC)构成的微电子部件,对于热处理在工艺时间、温度调节和温度均匀性方面具有特殊的要求。纳博热为此提供用于批量工艺和连续运行工艺的解决方案,且专为微电子行业的要求量身定制。
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