Öfen für die Mikroelektroindustrie
Die Herstellung von Mikroelektronikbauteilen aus Mehrlagenkeramiken (z.B. LTCC) stellt besondere Anforderungen an den Wärmebehandlungsprozess in Bezug auf die Prozesszeiten, die Temperaturregelung und Temperaturgleichmäßigkeit. Nabertherm bietet hierfür Lösungen für Batchprozesse und für kontinuierlich ablaufende Prozesse an, die speziell auf die Anforderungen in der Mikroelektronikindustrie zugeschnitten sind.
Öfen für die Mikroelektroindustrie
Katalog
Eine komplette Übersicht über unser umfangreiches Sortiment angefangen beim kleinen Laborofen bis hin zur Kombiofenanlage zum Entbindern und Sintern in einem Prozess finden Sie in unserem Katalog „Advanced Materials“.
