Forni per il settore della microelettronica

La produzione di componenti microelettronici in ceramiche multistrato (ad esempio le LTCC) pone particolari requisiti al processo di trattamento termico in termini di tempi di processo e di regolazione e uniformità della temperatura. In quest’ambito Nabertherm propone soluzioni appositamente messe a punto per i requisiti del settore della microelettronica per i processi batch e per quelli continui.  

Forno a base sollevabile per applicazioni LTCC  

Il forno a base sollevabile HF 450/10 LB DB200-2 è stato appositamente sviluppato per il deceraggio e la sinterizzazione di ceramiche multistrato LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics). L’isolamento della calotta del forno con materiale fibroso di elevata qualità consente cicli di processo molto rapidi. Il riscaldamento plurizona (ai lati in basso, ai lati in centro e ai lati in alto) garantisce la regolazione precisa e l’uniformità ottimale della temperatura nello spazio utile.  

Forni continui per bruciatura e cottura/sinterizzazione  

I forni continui della serie DF sono progettati per i processi continui in aria e sono quindi idonei per le applicazioni a strato spesso e i processi di cottura LTCC. Il prodotto (di norma caricato su di una piastra portante) viene movimentato attraverso il forno su di un nastro metallico, il carico e lo scarico avvengono in una zona di ingresso e di uscita, della lunghezza di ca. 500 mm, poste davanti e dietro il forno. La curva della temperatura per il processo può essere quindi adeguata alle esigenze del prodotto con le numerose zone di regolazione disposte in sequenza e con la velocità del nastro (regolabile a ca. 20 - 300 mm/min).   

Soluzioni personalizzate grazie a un’ingegneria su misura  

Grazie a un'ampia gamma di accessori e possibilità di espansione, entrambe le linee di prodotti rappresentano una base ideale per sviluppare sistemi di trattamento termico su misura per le esigenze dei clienti.  

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