Новостная статья – печи для микроэлектронной промышленности

Термообработка в микроэлектронной промышленности  

Производство микроэлектронных компонентов из многослойной керамики (например, LTCC) предъявляет особые требования к процессу термообработки с точки зрения времени процесса, регулирования температуры и однородности температуры. Nabertherm предлагает решения для периодических и непрерывных процессов, специально адаптированные к требованиям микроэлектронной промышленности.  

Печи с подъемным подом для удаления связующих и спекания компонентов из многослойной керамики LTCC  

Печь с подъемным подом HF 450/10 LB DB200-2 разработана специально для удаления связующих и спекания компонентов из многослойной керамики LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics). Изоляция колпака печи высококачественным волокнистым материалом обеспечивает высокую скорость циклов процесса. Многозонный нагрев (боковые поверхности внизу, по центру и вверху) обеспечивает высокоточное регулирование температуры и оптимальную однородность температуры в полезном пространстве.  

Проходные печи для обработки толстопленочных компонентов и процессов обжига LTCC  

Проходные печи серии DF предназначены для непрерывных процессов в воздушной среде и оптимально подходят для обработки толстопленочных компонентов и процессов обжига LTCC. Изделие (обычно расположено на несущей пластине) перемещается через печь на металлическом ремне, погрузка и разгрузка выполняются в зоне подачи или выпуска длиной ок. 500 мм перед печью и позади нее. Температурную кривую процесса можно адаптировать под требования продукта с помощью нескольких расположенных друг за другом зон регулировки и скорости ленты (регулируемой в диапазоне от 20 до 300 мм/мин).  

Индивидуальные решения с учетом конкретных особенностей проекта  

Благодаря разнообразному дополнительному оснащению и возможностям расширения обе серии продуктов представляют собой оптимальную основу для разработки систем термообработки по индивидуальным требованиям заказчика.  

Дополнительная информация о печах для микроэлектронной промышленности