Fours pour l'industrie microélectronique

La fabrication de composants microélectroniques en céramique multicouche (par ex. LTCC) pose des exigences particulières au processus de traitement thermique en termes de durée, de régulation et d’homogénéité de la température. Nabertherm propose dans ce cas des solutions pour les processus discontinus et continus, spécialement adaptées aux exigences de l'industrie microélectronique.  

Four à sole mobile pour applications LTCC  

Le four à sole mobile HF 450/10 LB DB200-2 a été spécialement conçu pour le déliantage et le frittage des céramiques multicouches LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics). L'isolation de la cloche avec un matériau fibreux de haute qualité permet des cycles très rapides. Un chauffage multizone (côtés en bas, côtés au milieu et côtés en haut) assure un contrôle précis et une homogénéité optimale de la température dans l'espace utile.  

Fours continus pour la calcination et le recuit/frittage  

Les fours continus de la série DF sont conçus pour des processus continus à l'air et conviennent donc aux applications à couche épaisse et aux processus de cuisson LTCC. Le produit (généralement chargé sur une plaque de support) est déplacé à travers le four sur une courroie métallique, le chargement et le déchargement s'effectuent depuis une zone d'entrée ou de sortie d'environ 500 mm de long située devant et derrière le four. La courbe de température du processus peut être adaptée aux besoins du produit grâce à plusieurs zones de régulation successives et à la vitesse de la courroie (réglable entre 20 et 300 mm/min environ).  

Des solutions individuelles grâce à une ingénierie sur mesure  

Avec des équipements supplémentaires polyvalents et des possibilités d'extension, les deux séries de produits offrent une base idéale pour le développement d'installations de traitement thermique spécifiques aux clients.  

Informations complémentaires sur les fours pour l'industrie microélectronique