Hornos para la industria de la microelectrónica

La fabricación de componentes de microelectrónica hechos de cerámicas multicapa (p. ej., LTCC) supone un desafío especial para el proceso de tratamiento térmico, en términos de tiempos de proceso, regulación de la temperatura y homogeneidad de la temperatura. A este respecto, Nabertherm ofrece soluciones para procesos por lotes y para procesos continuos, diseñados especialmente para los requisitos de la industria microelectrónica.  

Horno con elevador inferior para aplicaciones LTCC  

El horno con elevador inferior HF 450/10 LB DB200-2 está especialmente desarrollado para la desaglomeración y sinterización de cerámicas multicapa LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics). El aislamiento de la cúpula del horno con material fibroso de gran calidad permite realizar ciclos de proceso muy rápidos. Una calefacción multizona (laterales abajo, laterales centro y laterales arriba) genera una regulación exacta y una óptima homogeneidad de la temperatura en la zona útil.  

Hornos continuos para combustión y secado/sinterizado  

Los hornos continuos de la serie DF están diseñados para procesos con aire y, por tanto, son adecuados para aplicaciones de película gruesa y procesos de combustión LTCC. El producto (normalmente cargado en una placa soporte) se mueve por el horno sobre una correa metálica, la carga y descarga se realiza en una zona de entrada o salida de unos 500 mm antes y después del horno. La curva de temperatura para el proceso se puede adaptar a las necesidades del producto mediante las distintas zonas de regulación sucesivas y la velocidad de la cinta (ajustable entre aprox. 20 y 300 mm/min).  

Individual Solutions through Tailored Engineering  

With versatile additional equipment and expansion options, both product series offer an ideal basis for the development of customer-specific heat treatment systems.  

Further information of furnaces for the microelectronic industry